關(guān)于光學(xué)平臺(tái)的功能特點(diǎn)概述

光學(xué)平臺(tái)追求水平，加工的時(shí)候整個(gè)臺(tái)面是很平的。之后臺(tái)面置放與四個(gè)聯(lián)通的氣囊上，以保證臺(tái)面水平。臺(tái)面上布滿(mǎn)成正方形排列的工程螺紋孔，用這些孔和相應(yīng)的螺絲可以固定光學(xué)元件。這樣，當(dāng)你完成光學(xué)設(shè)備的搭建，系統(tǒng)基本不會(huì)受外來(lái)擾動(dòng)而產(chǎn)生變化。即使按動(dòng)臺(tái)面，它也會(huì)因?yàn)闅饽叶詣?dòng)回復(fù)水平。

好的平臺(tái)和面包板應(yīng)具有全鋼結(jié)構(gòu)，包括厚5毫米的頂板和底板，以及厚0.25毫米的精密加工的焊接鋼制蜂窩芯。蜂窩芯通過(guò)精確的壓膜工具制成，通過(guò)焊接平墊片保證其幾何間距。平臺(tái)和面包板中的蜂窩芯結(jié)構(gòu)從頂板一直延伸到底板，中間無(wú)過(guò)渡層，從而構(gòu)成更加堅(jiān)固、熱穩(wěn)定性更強(qiáng)的平臺(tái)產(chǎn)品。

隨著設(shè)備和工藝的發(fā)展，使納米量級(jí)的測(cè)量成為可能。例如，變相光學(xué)干涉儀測(cè)量物體的表面粗糙度，目前可以達(dá)到1納米的分辨率。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，已生產(chǎn)出線(xiàn)寬在亞微米量級(jí)的集成電路，提出測(cè)量準(zhǔn)確率小于50納米的精度要求。

　　這樣的應(yīng)用對(duì)系統(tǒng)中不同元件相關(guān)配合精度和穩(wěn)定性提出了很高的要求。

　　例如，用顯微鏡對(duì)圖像進(jìn)行高度放大的成像系統(tǒng)，顯微鏡和照像物鏡共同決定了相紙上每點(diǎn)的圖像。如果，在曝光過(guò)程中光學(xué)系統(tǒng)的每一部分(照明系統(tǒng)、樣品、顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)、成像光學(xué)系統(tǒng)和相紙平面)都精確地一同移動(dòng)，不存在相對(duì)位移，成像也會(huì)很清晰。如果樣品相對(duì)物鏡產(chǎn)生了運(yùn)動(dòng)，則像就會(huì)模糊。在光學(xué)干涉測(cè)量、全息及運(yùn)用相似的規(guī)律時(shí)，控制相對(duì)運(yùn)動(dòng)都是很重要的。

　　在一個(gè)**的剛性體內(nèi)部(只在理論上存在)，任何兩點(diǎn)的相對(duì)位置都是不變的。也就是說(shuō)，在振動(dòng)、靜力矩或溫度變化的情況下，任何實(shí)體的尺寸和形狀都是不變的。如果所有的元件都穩(wěn)固地連接成一個(gè)理想的剛性體，不同元件之間沒(méi)有相對(duì)位移，系統(tǒng)的性能也會(huì)很穩(wěn)固。

　　**的剛性體是不存在的?，F(xiàn)實(shí)中的系統(tǒng)只能近似的認(rèn)為是剛性的，因此，其穩(wěn)定性就要受到多方面因素的影響。例如外界的振源，系統(tǒng)的重量，光學(xué)平臺(tái)的結(jié)構(gòu)等等。